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                昆山英利悦电子有限公司,专注于PVD表面处理,真空镀膜加工服务商
                专注于pvd真空镀膜解决方案
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                pvd真空镀膜设备这些知识,你都了解吗?

                作者:admin 发布日期:2017-07-04 关注次数: 二维码分享

                关于真空镀膜设备大家ㄨ都了解多少呢?今天小编着重就真空镀膜设备的使用步骤、适用范围以及维护和保养方法等做以下介绍,希望对小伙伴们有用!

                看点一

                什么是←真空镀膜设备?

                pvd真空镀膜

                真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行∑ 的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅☆射沉积等很多种。主要思路→是分成蒸发和溅射两种。


                需要镀膜的被成为基片,镀的材料被成为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。


                蒸发镀膜一般是加热靶材使表¤面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子♀团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过蒸发镀膜设备+所镀产品图蒸※发镀膜设备+所镀产品图程,最终形成薄膜。


                看点二

                真空镀膜设备使用步骤


                1电控■柜的操作


                1)开水泵、气源


                2)开总电源


                3)开维持泵、真空计电源,真空计【档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。


                4)开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。


                5)观察㊣涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空】度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。


                2DEF-6B电子▆枪电源柜的操作


                1)打开总电源


                2)同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保⊙护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。


                3)开高压,高压〗会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电』流在1~1.7之间摆动。


                3关机顺序


                1)关高真空表头、关分子泵。


                2)待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。


                3)到50以下时,再@ 关维持泵。

                五金镀膜

                看点三

                真空镀膜设备适用范围


                1、建筑五金:卫浴五金(如水龙头)、门锁、门拉手、卫浴、门锁、五金合叶、家具等。


                2、制表业:可用于表壳、表带的镀膜、水晶制品。


                3、其它小五金:皮革五金、不锈钢餐具、眼镜框、刀具、模具等。


                4、大型工件:汽车轮毂、不锈钢板、招牌、雕塑等。


                5、不锈钢管和板(各种类型表面)


                6、家具、灯具、宾馆用具


                7、锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器血等五金制品镀超硬装饰膜。


                8、眼镜、首饰等装饰品镀超耐磨装饰(金银)纳米♀膜和纳米膜和纳米叠层膜。


                看点四

                维护和保养方法


                1、真空镀膜设备每完成200个镀膜〇程序以上,应清洁工作室一次。


                方法是:用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真▲空室内壁,( 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出▼氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。


                2、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。


                方法是:拧开放油螺栓@,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。


                3、扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可√以重新开机。在重新开★机前,要注意检漏工作。方法是:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联▃接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。

                案例展示

                CASE SHOW

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